ответы на вопросы
Требуемые условия завершения
Просмотреть
Дать ответ на задание
Открыто с: понедельник, 5 марта 2018, 00:00
Срок сдачи: воскресенье, 20 мая 2018, 00:00
1.Термическое испарение. Катодное и магнетронное испарение.
2.Ионно-лучевое распыление. Плазменная ионная имплантация, ионная имплантация.
3.Лазерные методы. Молекулярно-лучевая эпитаксия
4.Методы CVD с плазменными методами активации.
5.Атомно-слоевое CVD , CVD с горячей нитью ( каталитический CVD)
6.Металлорганический CVD. Гибридное физико-химическое парофазное осаждение. Парофазная эпитаксия .